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TFT-LCD阵列制程图解
TFT-LCD阵列制程图解 |
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一片表面平滑、没有任何杂质的玻璃是制造TFT-LCD玻璃基板最主要的原料。在制作之前先将玻璃清洗干净,然后脱水甩干。 之后将玻璃放在真空室内,让金属上面的特殊气体产生等离子后,金属上的原子就会撞向玻璃,然后形成一层层的金属薄膜。 镀完金属薄膜后,还要在上面镀上一层不导电层与半导体层。在真空室内先将玻璃板加温,然后由连接直流高压的喷洒器喷洒特殊气体,让电子与气体产生等离子,经过化学反应后,玻璃上就形成了不导电层与半导体层。 薄膜形成后,要在玻璃上制作电晶体的图案。首先,要进入黄光室喷上感光极强的光阻液,然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光,最后进入显影区喷杀显影液,这样就可以去除照光后的光阻,并使未被曝光的显影液定型。 光阻层定型后,可以用蚀刻进行湿式刻蚀将没有用的薄膜露出;也可以用等离子的化学反应进行干式蚀刻。蚀刻后再将留下的光阻以洗液去除,最后就产生电晶体所需要的电路图案了。 |